薄膜技术是进步的关键
FHR Anlagenbau GmbH – 薄膜技术的先驱
历史与创新相结合
FHR 在电子薄膜领域的专业技术无与伦比。公司创始人的职业生涯始于德累斯顿 VEB Elektromat 公司，在那里他们参与了真空镀膜系统的开发和生产。这一历史遗产与溅射技术和化学气相沉积技术的发展密切相关，与半导体技术的兴起同步。
通过关键技术塑造未来
薄膜技术是微电子技术的核心。半导体生产的进步与镀膜工艺的发展是相辅相成的。根据 SEMI 行业协会的路线图，原子层沉积 (ALD) 工艺将成为电子产品进一步微型化的核心。
融入在我们创新的世界中吧!
电子应用领域的 FHR 产品
晶圆镀膜、高性能元件、光电传感器
HR的团簇式系统——研究和工业中的成熟解决方案
FHR.Star产品系列：行业标准
我们的 FHR.Star 产品系列在科研和工业领域享有盛誉。许多公司和研究所都将其作为加工晶片的标准解决方案。它们的特点是结合了镀膜、蚀刻和退火工艺。这些工艺不仅可以应用薄膜，还可以对其结构进行调整和修改。
多功能应用和技术
FHR 系统和工艺用于沉积各种功能层，包括接触层、磁性层、压电层以及电介质。它们对于电子开关结构和元件，比如微机电系统、传感器、电阻器、电容器和晶体管，以及碳化硅功率半导体的生产也至关重要。
柔性电子领域的镀膜
FHR STAR.500.EOSS®和FHR.ROLL
使用我们的FHR.Star.500-EOSS®我们直接在传感器上生成滤光片，具有最高的精度和效率。FHR.Roll产品系列为柔性电子带来了创新。我们生产聚合物和金属箔上的导体轨道、电容器箔和柔性显示薄膜。FHR 是有机电子产品的先驱：我们实现了有机分子的气相沉积，用于生产太阳能电池、显示器和灯具。
真空镀膜设备
了解我们的真空镀膜系统如何在各行各业实现高性能镀膜。我们的专家将向您展示如何最大程度地利用我们的技术来实现您的项目。
