Sputter-Technologie
Sputterabscheidung als traditionelle Beschichtungsmethode
Das Sputtern ist eine langjährig bewährte Technik, die in zahlreichen Varianten Anwendung findet. Seit 30 Jahren sind wir bei der FHR Experten auf diesem Gebiet, vor allem im Einsatz von Magnetrons. Wir bieten vielfältige Verfahren und Anlagen, die wir je nach gewünschtem Ergebnis und verwendetem Material auf Kundenseite individuell anpassen.
Wir von der FHR sind Ihre Spezialisten rund um das Thema Sputtern, Sputtertargets und Vakuumbeschichtung.
So funktioniert´s
Was ist Sputtern?
Das Sputtern, auch als Zerstäubung oder Sputter-Abscheidung bekannt, ist ein Vakuumverfahren zur Abscheidung dünner Schichten von Materialien auf einem Substrat. Dieser Prozess wird häufig in der Mikroelektronik, der Optik und anderen industriellen Anwendungen eingesetzt, um präzise und gleichmäßige Schichten auf Oberflächen aufzubringen.
Vom Grundprinzip her wird beim Sputtern ein Target (eine Art „Ziel“-Material, das abgeschieden werden soll) in einer Vakuumkammer mit ionisierten Gasen (häufig Argon) bombardiert. Wenn diese Ionen mit genügend Energie auf das Target treffen, werden Atome oder Moleküle des Targets herausgeschlagen und kondensieren auf dem Substrat, das so mit einer dünnen Schicht dieses Materials bedeckt wird.
Schritte des Sputterprozesses:
1. Evakuieren der Kammer: Zunächst wird die Sputterkammer evakuiert, um Fremdmoleküle zu entfernen.
2. Einführung des Sputtergases: Ein Inertgas, typischerweise Argon, wird in die Kammer eingeführt.
3. Erzeugung eines Plasmas: Durch Anlegen einer elektrischen Spannung wird das Gas ionisiert und ein Plasma entsteht.
4. Beschuss des Targets: Die ionisierten Gasteilchen werden durch das elektrische Feld beschleunigt und schlagen auf das Target.
5. Abscheidung auf dem Substrat: Die vom Target abgelösten Atome oder Moleküle bewegen sich durch die Kammer und setzen sich als dünne Schicht auf dem Substrat ab.
Varianten des Sputterns:
- Co-Sputtern: Co-Sputtern ist das zeitgleiche Beschichten mit mehreren Sputterquellen.
- Konfokales Sputtern: Das Beschichten mit geneigten Sputterquellen bei Rotation, wodurch eine Beschichtung mit kleineren Quellen möglich wird
- Magnetron-Sputtern: Hierbei wird ein Magnetfeld verwendet, um das Plasma näher am Target zu konzentrieren, was die Sputterrate erhöht und den Prozess effizienter macht.
Vorteile des Sputterns:
- Gleichmäßige Schichtdicken: Sputtern ermöglicht die Abscheidung sehr gleichmäßiger und reproduzierbarer Schichten.
- Flexibilität: Es können verschiedene Materialien als Target verwendet werden, einschließlich Metallen, Legierungen und Oxiden.
- Hohe Reinheit: Da der Prozess in einer Vakuumkammer stattfindet, können sehr reine Schichten erzeugt werden.
Vakuumbeschichtungsanlagen
Erfahren Sie, wie unsere Vakuumbeschichtungsanlagen in verschiedenen Branchen Hochleistungsbeschichtungen ermöglichen. Unsere Experten zeigen Ihnen, wie Sie unsere Technologien für Ihre Projekte optimal nutzen können.
Weitere Technologien und Beschichtungsverfahren
-
Sputter-TechnologieMagnetron-Sputtern
Durch starke Magnetfelder wird eine gleichmäßige und qualitativ hochwertige Schichtbildung ermöglicht.
-
Sputter-TechnologieCo-Sputtern
Erzeugung von flexibel einstellbaren Mischschichten mit variierender Zusammensetzung.
-
Sputter TechnologieKonfokales Sputtern
Verwendung von bis zu fünf verschiedenen Materialien in einer einzigen Kammer für eine hohe Flexibilität und maßgeschneiderte Schichtzusammensetzung.
-
Dünnschicht TechnologiePVD-Beschichtung
Verdampfen von festen Targets in der Prozesskammer – kommt zum Beispiel in der Halbleiterindustrie, der optischen Industrie oder in der Architektur zum Einsatz.
-
Dünnschicht-TechnologieThermisches Bedampfen
Zum Aufbringen von Materialien wie Kupfer, Silber oder Gold, aber auch von anderen Materialien wie Siliziumdioxid oder Indiumzinnoxid geeignet.
-
Dünnschicht-TechnologiePECVD Beschichtung
Beschichtungsverfahren für die Beschichtung bei niedrigen Temperaturen zwischen 200 °C und 500 °C.
-
Dünnschicht-TechnologieALD & SALD
Mit ALD können auf komplexen Oberflächen gleichmäßige, sehr dünne Schichten bei niedriger Temperatur erzeugt werden.
-
SchichtstrukturierungPlasmaätzen
Durch den Einsatz von Plasma werden Materialien mit außerordentlicher Präzision von einem Substrat entfernt.
-
SchichtstrukturierungReaktives Ätzen
Mit der Möglichkeit, sowohl isotropes als auch anisotropes Ätzen durchzuführen, bietet das reaktive Ionenätzen ein hohes Maß an Flexibilität bei der Strukturierung von Oberflächen.
-
Funktionale SchichtenOptische Schichten
Schichten für das Verspiegeln und Entspiegeln von optischen Oberflächen.
-
Funktionale SchichtenElektronische Schichten
Elektronische Schichten mit verschiedenen Eigenschaften.
-
Funktionale SchichtenAntireflektive Schichten
Antireflektive, dielektrische Schichten zum Entspiegeln von Glasoberflächen.
-
Funktionale SchichtenDekorative Schichten
Schichten zur Veredelung von Materialien.
-
Funktionale SchichtenTribologische Schichten
Beschichtung für Haft- und Reibungsminderung oder für den Abrieb- und Verschleißschutz.
Der richtige Partner an Ihrer Seite
Gemeinsam die Zukunft gestalten – mit zuverlässigen und hochwertigen Beschichtungslösungen der FHR:
- Branchenführende Qualität: Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind auf höchste Präzision und Langlebigkeit ausgelegt.
- Maßgeschneiderte Lösungen: Wir bieten individuelle Lösungen für Ihr Beschichtungsprojekt, die Ihren speziellen Anforderungen gerecht werden.
- Innovative Methoden und Technologien: Mit unserer langjährigen Erfahrung und Expertise bei der Vakuumbeschichtung setzen wir neue Standards.
- Engagierter Kundenservice: Unser erfahrenes Team steht Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu beantworten und Sie bei Ihren Projekten zu unterstützen.
Entdecken Sie die vielfältigen Möglichkeiten unserer Vakuumbeschichtungstechnik und vertrauen Sie auf die FHR als Ihren zuverlässigen Partner für herausragende Beschichtungslösungen. Kontaktieren Sie uns, um mehr zu erfahren und gemeinsam Ihre Projekte zu realisieren.
Ihr Ansprechpartner
Sie haben Fragen?
Sie wollen mehr über Dünnschichttechnologie erfahren oder sich ganz allgemein zu unseren Vakuumbeschichtungsanlagen und unserem Beschichtungsservice beraten lassen? Dann melden Sie sich bei uns – unser Expertenteam beantwortet gerne all Ihre Fragen.